এটি কিছু ভুল ধারণা সংশোধন করার জন্য অন্যান্য উত্তরগুলির উল্লেখ করে একটি "মেটা" উত্তর হবে।
ভিএলএসআই উত্পাদনকালে লিথোগ্রাফির বিভিন্ন রেজোলিউশন বিভিন্ন স্তরে ব্যবহৃত হয় এবং কেবলমাত্র আধুনিক এবং সর্বাধিক সুন্দর বিবরণগুলি গেট সংজ্ঞা স্তরে ব্যবহৃত হয়। পলি সিলিকন সংজ্ঞায়নের আগের ধাপগুলি পুরানো লিথোগ্রাফি সরঞ্জামগুলির সাথে সম্পন্ন হয় (যেমন সক্রিয় অঞ্চল সংজ্ঞা এসটিআই - লোকস ইত্যাদি)।
কারণটি খুব সহজ, সর্বাধিক উন্নত (এবং এইভাবে সর্বাধিক ব্যয়বহুল) সরঞ্জামগুলি কেন ব্যবহার করুন যা অন্তর্নিহিতভাবে কম রেজোলিউশনের প্রয়োজন স্তরগুলি সংজ্ঞায়িত করতে সবচেয়ে ব্যয়বহুল মুখোশ ব্যবহার করে?
প্রকৃতপক্ষে, বৈদ্যুতিক-স্থানান্তর রোধ করতে এবং বিদ্যুতের রেলগুলির প্রতিরোধ ক্ষমতা হ্রাস করার জন্য শীর্ষ ধাতু আরও স্রোতকে সমর্থন করতে খুব ঘন হয়ে থাকে।
উদাহরণস্বরূপ, একটি 180 এনএম প্রক্রিয়াতে 5X ফেজ পরিবর্তন মাস্ক সহ কেআরএফ লেজার ভিত্তিক লিথোগ্রাফি @ 248 এনএম ব্যবহার করে গেটটি সংজ্ঞায়িত করা হয়েছে। এটি পরিচিতিগুলির জন্যও ব্যবহৃত হয়। আই-লাইন @ 365nm এবং 5X মাস্ক ব্যবহারের চেয়ে ধাতব 1 একটি স্টিপারে সম্পন্ন হতে পারে তবে কোনও ধাপ সংশোধন প্রয়োগ করা হয়নি।
বিষয়টি হ'ল, চিপের শীর্ষ স্তরগুলি প্রক্রিয়াটিকে "হিসাবে সংজ্ঞায়িত করা" তার চেয়ে অনেক কম রেজোলিউশন এবং অনেক বেশি উচ্চতর পিচ - এবং এমনকি এই সংজ্ঞাটি অনেক সময় মজাদার হয়ে ওঠে।
উপরের ধাতবটির উপরে 180 এমএম প্রক্রিয়াতে 3 ম এর মতো ন্যূনতম বৈশিষ্ট্যগুলির আকার থাকতে পারে, আমি পরীক্ষা করেছিলাম।
শীর্ষ ডাই প্যাসিভেশন সাধারণত সি 3 এন 4 বা পলিমাইড হয়। যা সেই ছবিগুলিতে সরানো হয়েছে।
সুতরাং সবচেয়ে সম্ভাব্য জিনিসটি হ'ল সেই ছবিগুলি আসলে একটি মাইক্রোস্কোপে তোলা হালকা ছবি visible রঙগুলি হতে পারে কারণ কাঠামোগুলির উচ্চতা আলোর তরঙ্গদৈর্ঘ্যের ক্রম এবং পৃথক পৃথক প্রভাব রয়েছে। তবে যেহেতু আমাদের স্কেল নেই তা নিশ্চিত হওয়া নিরাপদ নয়।
তবে এটি একটি বৈদ্যুতিন মাইক্রোগ্রাফ হতে পারে যা "pretiness" জন্য বর্ণিত হয়েছে। এটি কোনও বইয়ের একটি প্রচ্ছদ থেকে এসেছে বলে মনে হয় এবং সেখানে কী শিল্প বিভাগ কী কাজ করে।
সুতরাং আমি অন্যটির মধ্যে একটিও বলতে রাজি নই যে এটি হয় অপটিকাল বা এসইএম। @ ডাব্লু 5 ভিও পর্যবেক্ষণ করেছে যে ক্ষেত্রের গভীরতা অপটিকালের জন্য খুব বড় বলে মনে হচ্ছে এবং আমি সম্মত। তবে আমরা এখানে স্কেল জানি না, সেই কাঠামোটি সহজেই যুগের দশকে মাইক্রন হতে পারে।
কোনও ইলেক্ট্রন মাইক্রোগ্রামের কথা কখনও শুনিনি - স্ট্যান্ডার্ড নামকরণ কনভেনশনগুলির অধীনে যেগুলি "ছোট ইলেক্ট্রন বার্তা" তে অনুবাদ করবে আমি তার উল্লেখ করার মতো কোনও লিঙ্কও খুঁজে পাই না। সুতরাং আমি শুনতে চাই যে কি হতে পারে।