একাধিক পদক্ষেপ রয়েছে তবে প্রাথমিক প্রক্রিয়াটি হ'ল আপনি কোনও ফটোরেস্ট ব্যবহার করেন।
প্রক্রিয়া পদক্ষেপের শুরুতে, একজন ফটোরেস্ট ওয়েফারে "কাটা" হয়। এটি একটি খুব আক্ষরিক জিনিস, তারা পলিমারটি পৃষ্ঠের দিকে সরে যাওয়ার সময় ওয়েফারটি স্পিন করে যা সুনির্দিষ্ট বেধের পাতলা স্তরে ছড়িয়ে পড়ে। এটি নিরাময় হয় এবং তারপরে একটি ফটোোলিওগ্রাফিক মেশিনে স্থাপন করা হয়, যা ওয়েফারের উপরে এমন চিত্র তৈরি করে যা ফোটোরিস্টে (একা পিআর) সুপ্ত চিত্রগুলি ফেলে।
জনসংযোগ বিকশিত হয় (কিছু প্রতিরোধী নেতিবাচক এবং কিছু ইতিবাচক, যার অর্থ উন্মুক্ত অঞ্চলগুলি থাকে বা উন্মুক্ত অঞ্চলগুলি মুছে ফেলা হয়)। বিকাশ প্রক্রিয়া পছন্দসই প্যাটার্নটি রেখে পিআর এর অংশগুলি সরিয়ে দেয়।
পিআর সেই অঞ্চলগুলিকে সংজ্ঞায়িত (মুছে ফেলা) বা উইন্ডোগুলির সাহায্যে আয়নগুলি রোপণ করা যেতে পারে। রোপণ হ'ল প্রক্রিয়া যার মাধ্যমে সি ডোপড হয়।
একবার অঞ্চলটি রোপণ করা হয়ে গেলে, বাকি আরআর সরিয়ে ফেলা হয় এবং ওয়েফারটি ইমপ্লান্টের ক্ষতিটি অ্যানিয়াল করার জন্য তাপীয়ভাবে চিকিত্সা করা হয়।
লিথো পদক্ষেপগুলির মধ্যে হ'ল ডিপোজিশন, গ্রোথ, ইচস, ভেজা বাথ, প্লাজমা ট্রিটমেন্ট ইত্যাদি etc.